西北工業(yè)大學(xué)分析測(cè)試中心系列講座（第九期）
一、報(bào)告題目：微納加工技術(shù)中的科學(xué)原理
二、報(bào)告人：李西軍 研究員（浙江省3D微納加工和表征研究重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室副主任，西湖大學(xué)先進(jìn)微納加工與測(cè)試平臺(tái)主任）
三、講座時(shí)間：2019年4月19日（星期五），10:30-12:00
四、講座地點(diǎn)：長(zhǎng)安校區(qū)理學(xué)院383會(huì)議室
五、報(bào)告摘要：
介紹微納加工的歷史和關(guān)鍵技術(shù)，重點(diǎn)分享電子束曝光、真空等離子刻蝕和鍍膜工藝中涉及到的物理過(guò)程，并分享怎樣利用科學(xué)原理開(kāi)發(fā)新工藝的經(jīng)驗(yàn)。
六、報(bào)告人簡(jiǎn)介：
李西軍 理學(xué)博士，研究員，浙江省3D微納加工和表征研究重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室副主任，西湖大學(xué)先進(jìn)微納加工與測(cè)試平臺(tái)主任。李西軍博士師從經(jīng)福謙院士，2000年畢業(yè)于中國(guó)工程物理研究院研究生部，獲理學(xué)博士學(xué)位；有15年微納加工技術(shù)開(kāi)發(fā)和多年平臺(tái)管理的經(jīng)驗(yàn)。2004到2007年，在承擔(dān)日本Pioneer公司先進(jìn)集成非線(xiàn)性光學(xué)專(zhuān)項(xiàng)課題期間，發(fā)明絕緣層上鈮酸鋰（lithium niobite on insulation, LNoI）晶圓和聚焦離子束鐵電疇納米加工技術(shù)，是LNoI非線(xiàn)性集成光學(xué)器件的開(kāi)拓者；隨后發(fā)明掃描離子聲學(xué)顯微鏡（Scanning Ion Acoustic Microscope, SIAM）。李西軍博士曾獲得國(guó)家基金委重大項(xiàng)目、國(guó)家基金委重點(diǎn)項(xiàng)目和科技部重大研發(fā)計(jì)劃等子課題資助，發(fā)表學(xué)術(shù)論文40余篇，獲得授權(quán)專(zhuān)利22項(xiàng)。
歡迎校內(nèi)外師生參加與交流！
